各種SPM校正やSPMプローブの評価。PTB-traceableのグレーティングも提供可能。
SPMグレーティング

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Tokyo Instruments Inc.
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SPMグレーティング SPMグレーティング

製品概要

SPM校正用グレーティングです。御用途に合わせて最適なものを選択できます。

SPM測定の練習用、学生実験用などにもご使用頂けます。

TGZ

特長
Z軸の較正およびノンリニアリティの検出に使用する、長さのある凹凸が繰り返されたグレーティングです。
5種類のサイズから選べます。

用途
・Z軸較正
・ノンリニアリティ検出

SPMグレーティング TGZ

TGG1

特長
マイクロメーター単位の平行な稜線が並んだ、グレーティングです。

用途
・X軸またはY軸の較正
・横方向、垂直方向のノンリニアリティの検出
・角変形の検出
・tip特性

SPMグレーティング

TGQ1

特長
X軸、Y軸、Z軸較正およびノンリニアリティ測定用のグレーティングです。

用途
・X、Y、Z方向の同時較正
・横方向較正、横方向ノンリニアリティの検出
・ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出

SPMグレーティング

TGT1

特長
使用するカンチレバーのtip形状のパラメーターを検討するためのグレーティングです。

用途
・スキャニングtipの3-D視覚化
・tip 形状のパラメーター(アスペクト比、曲率半径)、tipの劣化、コンタミネーションコントロールの決定。

SPMグレーティング

TGX1

特長
横方向較正およびノンリニアリティ測定用の、四角柱の縁下を鋭く切り取ったものをアレイしたグレーティングです。

用途
・横方向較正
・横方向ノンリニアリティの検出
・ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出
・tipのアスペクト比の決定

SPMグレーティング

TDG01

特長
X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正用のグレーティングです。

用途
・X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正

SPMグレーティング

TDG01_Au

特長
X軸またはY軸でのサブミクロン単位でのSTM較正用のグレーティングです。

用途
・X軸またはY軸でのサブミクロン単位でのSTM較正

SPMグレーティング

TGZ

型名 TGZ1 TGZ2 TGZ3 TGZ4
構造 シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成
形成パターン 1- D (Z軸方向)
ステップ高 21.6±1.5nm 107±2nm 560±4nm 1317±10nm
周期 3±0.05μm
チップサイズ 5×5×0.5mm
有効範囲 3×3 (中央部)mm

TGG1

構造 シリコンウェハ上に形成
形成パターン 正確な直線と角度サイズを持つ三角形ステップを持つ1- D
エッジ角 70°
エッジ半径 10nm
周期 3±0.05 μm
チップサイズ 5×5×0.5 mm
有効範囲 3×3 (中央部) mm
  • *1:参考値です。垂直方向の較正にはご使用頂けません。

TGQ1

構造 シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成
形成パターン 小さな正方形の3-Dアレイ
周期 3.0±0.05 μm
高さ 20 ±1.5 * nm
正方形のサイズ 1.5±0.35 μm
チップサイズ 5×5×0.5 mm
有効範囲 3×3 (中央部) mm
  • *1:300個のグレーティングのバッチから5個のグレーティングの測定値の平均値です。
  • 基本のステップ高は10%以内の差異を含みます。

TGT1

構造 シリコンウェーハ上に形成
形成パターン シャープなティップのアレイ
ティップ角 50±10 °
ティップ曲率半径 10 nm
周期 3±0.05 μm
対角の周期 2.12 μm
チップサイズ 5×5×0.5 mm
有効範囲 2×2 (中央部) mm
高さ 0.3-0.5 μm

TGX1

構造 シリコンウェーハ上に形成
形成パターン 縁の下を鋭く切り取った四角柱アレイ
周期 3±0.05 μm
エッジ曲率半径 <10nm
チップサイズ 5×5×0.5 mm
有効範囲 3×3 (中央部) mm
高さ 0.6μm *

TDG01

型名 TDG01 TDG01_Au
構造 ガラスフェーハ
カルコゲナイドガラス層上に形成
グレーティング表面はアルミニウム グレーティング表面はAu導電性コーティングあり
形成パターン 1- D (XまたはY軸方向)
パターン高 > 55nm (良好なイメージコントラストを提供) > 50nm (良好なイメージコントラストを提供)
ジオメトリー 平行な稜線
周期 278nm (3600 周期/mm)
精度 ±1nm
チップサイズ 直径 12.5mm, 厚み 2.5mm
有効範囲 直径9mm (中央部)
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