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各種測定に対応する多様のプローブを用意
SPMプローブ

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Tokyo Instruments Inc.
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SPMプローブ SPMプローブ

製品概要

スタンダードなものから特殊用途のものまで、各種測定に合ったプローブを用意しております。
チップ裏面に金属コーティングを施し、コーティング無しと比較して信号強度および化学的安定性も増しております。
カンチレバー形状、共振周波数および力定数が異なる多くの型番からサンプルに適したものをお選び頂けます。
導電性コーティング・磁気コーティングの他、裏面コーティングのないベアプローブ、ティップのないティップレスプローブもご提供可能です。

特長

  • ほとんどの市販SPMで使用可能
  • チップ裏面の金属コーティング(AuまたはAl)により信号強度および化学安定性を向上
  • 導電性コーティングは2種類から選択(Pt、Au)
  • ベアプローブ、ティップレスプローブも提供可能
  • 低価格、高品質

主な用途

  • 走査型プローブ顕微鏡
  • 原子間力顕微鏡(AFM)
  • ケルビンプローブ顕微鏡(KPM)、電気力顕微鏡(EFM)
  • 磁気力顕微鏡(MFM)
  • フォース測定

製品一覧

スタンダードプローブ CSG、FMG、NSGシリーズ

スタンダードプローブ CSG、FMG、NSGシリーズ

特長:
・鋭いティップ曲率半径(代表値:6nm)を持つ、標準的なプローブです。
・標準で裏面にAuコーティングしてあります。
・導電性(Au、Pt)プローブ、磁気性プローブ、ベアプローブもご提供しております。
用途:
・走査型プローブ顕微鏡における各種測定


ポリシリコンプローブ ETARONシリーズ

ポリシリコンプローブ ETARONシリーズ

特長:
・低分散の共振周波数および力定数の値を持つ、
ばらつきの少ないプローブです。
用途:
・走査型プローブ顕微鏡における各種測定


高分解能プローブ DLCシリーズ

高分解能プローブ DLCシリーズ

特長:
・ティップ先端に曲率半径1~3nmのDLCを伸長させた
 高分解能測定用プローブです。
・DLCティップはTEMで20 nm以上の長さのものを選別しています。
・優れた高耐摩耗性を持ちます。
用途:
・高分解能測定
・nmオーダーの微細構造を持つサンプル
・従来のSPMプローブでは十分な分解能を得られなかったサンプル


ナローギャップ用プローブ Whiskerシリーズ

ナローギャップ用プローブ Whiskerシリーズ

特長:
・ティップ先端に細長いエクストラティップを施した、
 深い溝や垂直構造を持つサンプルに最適なプローブです。
用途:
・深い溝、垂直構造のあるサンプル
・極端な構造を持つサンプル


トップビジュアルプローブ VITシリーズ

トップビジュアルプローブ VITシリーズ

特長:
ティップ部分がカンチレバーの先端よりも突出しており、
正確な位置決めに最適なプローブです。
用途:
・走査型プローブ顕微鏡での測定に使用
・ノンコンタクト用
・TERS, TEFS, s-SNOMでの使用
・ナノマニピュレーション


ダイアモンドコート導電性プローブ DCPシリーズ

ダイアモンドコート導電性プローブ DCPシリーズ

特長:
・ティップをダイアモンドコートを施し、
 高い耐久性・耐摩耗性を備えたプローブです。
・窒素ドープにより導電性を持ち、
 電気モードおよびナノリソグラフィー用にもご使用頂けます。
用途:
・酸化ナノリソグラフィー
・電気モード測定
・繰り返し測定


コロイダルプローブ スタンダードプローブタイプ、ティップレスプローブタイプ

コロイダルプローブ スタンダードプローブタイプ
ティップレスプローブタイプ

特長:
・カンチレバー先端にコロイド粒子を付着させたコロイダルプローブです。
・粒子間および粒子-表面間の力測定、摩擦力や接着力の測定に有効です。
用途:
・粒子間の力測定
・粒子-表面間の力測定
・局所領域の力測定
・摩擦力測定、接着力測定

SPMプローブ仕様

ETALONシリーズ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面コート ティップコート
長さ
±2μm

±3μm
厚み
±0.15μm
min typical max min typical max
HA_FM A 223 34 3 69.3 77 84.7 2.8 3.5 4.2 Au -
Pt
Au
W2C
B 183 34 3 102.6 114 125.4 4.8 6 7.2
HA_NC A 94 34 1.85 211.5 235 258.5 9.6 12 14.4 Au -
Pt
Au
W2C
B 124 34 1.85 126 140 154 2.8 3.5 4.2
HA_HR A 93 34 3 342 380 418 27.2 34 40.8 Au -
Pt
Au
W2C
B 123 34 3 207 230 253 13.6 17 20.4
HA_C A 264 34 1.85 33.3 37 40.7 0.52 0.65 0.78 Au Pt
Au
B 364 34 1.85 17.1 19 20.9 0.21 0.26 0.31
HA_CNC A 224 34 1.85 41.4 46 50.6 0.8 1 1.2 Au -
(bare)
B 184 34 1.85 59.4 66 72.6 1.2 1.5 1.8

Goldenシリーズ (スタンダード、導電性コーティング)

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面コート ティップコート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.5μm
min typical max min typical max
CSG01 350 30 1 4 9.8 17 0.003 0.03 0.13 Au
- (bare)
- (bare)
Au
Ptlr
CSG10 225 30 1 8 22 39 0.01 0.11 0.5 Au
- (bare)
- (bare)
Au
Ptlr
CSG30 190 30 1.5 26 48 76 0.13 0.6 2 Au
- (bare)
- (bare)
Au
Ptlr
FMG01 225 32 2.5 40 60 96 1 3 5 Au
- (bare)
- (bare)
Au
Ptlr
NSG01 125 30 2 87 150 230 1.45 5.1 15.1 Au
- (bare)
- (bare)
Au
Ptlr
NSG10 95 30 2 140 240 390 3.1 11.8 37.6 Au
- (bare)
- (bare)
Au
Ptlr
NSG03 135 30 1.5 47 90 150 0.35 1.74 6.1 Au
- (bare)
- (bare)
Au
Ptlr
NSG30 125 40 4 240 320 440 22 40 100 Au
- (bare)
- (bare)
Au
Ptlr

※ティップコーティング(Au、PtIr)は導電性モードのSCM、SKM、SRI、EFM、I-Vカーブスペクトル測定、電圧リソグラフィに使用します。

磁気コーティング

シリーズ カンチレバー 共振周波数
(kHz)
力定数
(N/m)
裏面
コート
ティップ
コート
長さ
±10μm

±5μm
厚み
±0.5μm
min typical max min typical max
MFM01 225 32 2.5 47 70 90 1 3 5 Al CoCr
MFM_LM 225 32 2.5 47 70 90 1 3 5 Al CoCr
MFM_HC 225 32 2.5 47 70 90 1 3 5 Al CoCr
HA_FM/
CoFe
A 223
(±2)
34
(±3)
3
(±0.15)
69.3 77 84.7 2.8 3.5 4.2 Al CoFe
B 183
(±2)
344
(±3)
3
(±0.15)
102.6 114 125.4 4.8 6 7.2

※磁気モード測定に使用します。
※MFM01 : 高磁気分解能・長寿命プローブ
※MFM_LM : 低モーメント・高磁気分解能プローブ
※MFM_HC : 高保磁力・高磁気分解能プローブ

Tiplessプローブ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
長さ
±10μm

±5μm
厚み
±0.5μm
min typical max min typical max
CSG01/tipless 350 30 1 4 10 17 0.003 0.03 0.13 Au
NSG30/tipless 125 40 4 240 320 440 22 40 100 Au
シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
長さ
±2μm

±3μm
厚み
±0.15μm
min typical max min typical max
HA_NC/
tipless
A 94 34 1.85 211.5 235 258.5 6.4 8 9.6 Au
B 124 34 1.85 126 140 154 2.8 3.5 4.2
HA_C/tipless A 264 34 1.85 33.3 37 40.7 0.52 0.65 0.78 Au
B 364 34 1.85 17.1 19 20.9 0.21 0.26 0.31

※カンチレバーにティップのないプローブ。
独自のティップを加えたり、平坦なものでサンプルに圧力を加える等に使用します。

DLCシリーズ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.3μm
min typical max min typical max
NSG01_DLC 130 35 2 115 150 190 2.5 5.5 10 Au
NSG10_DLC 100 35 2 190 255 325 5.5 11.5 22.5 Au

スーパーシャープシリコンプローブ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.5μm
min typical max min typical max
NSG30_SS 125 40 4 240 320 440 22 40 100 Al
FMG01_SS 225 32 2.5 47 70 90 1 3 5 Al
CSG10_SS 225 30 1 8 22 39 0.01 0.11 0.5 Al

Whiskerシリーズ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.3μm
min typical max min typical max
NSC05 100 35 2 190 255 325 5.5 11.5 22.5 Au
CSC05 250 35 1 14 20 28 0.03 0.1 0.2 Au

VITシリーズ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.5μm
min typical max min typical max
VIT_P 140 50 5 200 300 400 25 50 95 - (bare)
VIT_P/IR 140 50 5 200 300 400 25 50 95 - (bare)
VIT_P C-A 450(±20) 50(±1) 2.5(±1) 8 16 25 0.3 0.6 1 - (bare)

※チップ先端と測定位置を視認確認可能な飛び出し型プローブです。

DCPシリーズ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.3μm
min typical max min typical max
DCP01 130 35 2 115 150 190 2.5 5.5 10 Au
DCP10 100 35 2 190 255 325 5.5 11.5 22.5 Au
DCP20 90 60 2 260 420 630 28 48 91 Au
HA_HR_DCP A 93(±2) 34 3(±0.15) 342 380 418 27.2 34 40.8 Au
B 123(±2) 34 3(±0.15) 207 230 253 13.6 17 20.4 Au

※高耐久性、耐摩耗性のある長寿命プローブ。不純物ドープにより導電性測定も対応します。

コロイダルプローブ

シリーズ コロイド材質 コロイドサイズ (mm) 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面コート
CSG30_Bio270/Au SiO2 270 26 48 76 0.13 0.6 2 Au
CSG30_Bio650/Au 650
CSG30_Bio900/Au 900
FMG01_Bio270/Au SiO2 270 50 60 70 1 3 5 Au
FMG01_Bio650/Au 650
FMG01_Bio900/Au 900
NSG01_Bio270/Au SiO2 270 87 150 230 1.45 5.1 15.1 Au
NSG01_Bio650/Au 650
NSG01_Bio900/Au 900
シリーズ コロイド材質 コロイドサイズ (mm) 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面コート
min typical max min typical max
CPC_SiO2-A/Au SiO2 A5~9 8 21 37 0.01 0.14 0.6 Au
CPC_BSG-A/Au BSG A5~9 8 21 37 0.01 0.14 0.6 Au
CPC_BSG-B/Au B10~14
CPC_BSG-C/Au C15~19
CPC_BSG-D/Au D20~
CPFM_SiO2-A/Au SiO2 A5~9 43 62 81 0.6 1.6 3.7 Au
CPFM_BSG-A/Au BSG A5~9 43 62 81 0.6 1.6 3.7 Au
CPFM_BSG-B/Au B10~14
CPFM_BSG-C/Au C15~19
CPFM_BSG-D/Au D20~
CPN_SiO2-A/Au SiO2 A5~9 200 300 400 13 37 77 Au
CPN_BSG-A/Au BSG A5~9 200 300 400 13 37 77 Au
CPN_BSG-B/Au B10~14
CPN_BSG-C/Au C15~19
CPN_BSG-D/Au D20~
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