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モジュラー型共焦点顕微ラマン、2レーザー、ファイバー型、AFM複合
モジュラー型3D顕微レーザーラマン分光装置 Nanofinder FLEX2

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Tokyo Instruments Inc.
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モジュラー型3D顕微レーザーラマン分光装置 Nanofinder FLEX2 モジュラー型3D顕微レーザーラマン分光装置 Nanofinder FLEX2

ラマン分光装置用EMCCD検出器 デモ機販売キャンペーン

当社の顕微レーザーラマン分光装置Nanofinder FLEXで使用していたEMCCD検出器のデモ機を、特別価格でご提供します。また、各種CCD検出器と分光器のセットや、ラマン分光モジュール一式も、格安でご提案いたします。

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製品概要

Nanofinder®FLEX2は、ファイバー接続型3D共焦点顕微ラマン分光装置Nanofinder®FLEXシリーズの後継機です。今までの特長である、コンパクト設計やファイバー接続による装置配置等の柔軟性はそのままに、2種類の励起レーザーの切替がより簡単で使い易くなりました。  本装置では新たに高分解能モード/高感度モードが追加され、実験内容に合わせて測定モードを再現性良く簡単に切り替えることができます。  また、ラマン光学系ユニットは、モーターステージ、ピエゾステージ等を組み合わせた標準的な正立型顕微鏡に取り付け可能であることはもちろん、弊社独自開発のグラナイトフレームの顕微鏡を使用することでAFM/SNOMシステムとの組み合わせや倒立型顕微鏡配置等も可能となります。

特長

  • コンパクトサイズ
  • レーザー2本を簡単切替
  • 共焦点モードを簡単切替
    1.高分解能モード:空間分解能<300nm
    2.高感度/高スループットモード:~40%
  • コンパクトサイズ

用途

  • 有機物、薄膜、化合物半導体の分析
  • Liイオン電池や太陽電池の評価
  • 微小異物やカーボンナノチューブの評価

簡単操作を実現するスマートデザイン

ラマンユニット、顕微鏡ユニットのスライダーを切替えるだけで、励起レーザー、測定モードを選択でき、
その際の光路調整も不要です。

構成図
スライダー式切替

省スペース

ファイバー接続のため光学定盤上で自由な配置が可能です。
省スペースでハイパフォーマンスの顕微ラマン装置を実現しました。

省スペース

測定例1:Siデバイス

高感度システムにより高速3Dラマンイメージングが可能
マッピング速度は 3 ms/point 以上で、全てのマッピングポイントでフルスペクトルを保存できます。
    (3 MHz ADCタイプCCD使用)

高速ラマンイメージ 532nm励起

高速3Dラマンイメージ 532nm励起

Siウェハーのラマンスペクトル(露光時間0.05秒)

Siウェハーのラマンスペクトル(露光時間0.05秒)

測定例2:多層グラフェン(2Dラマンイメージ 532nm励起)

G-バンド強化(1582cm<sup>-1</sup>)

G-バンド強化(1582cm-1)

G-バンドピーク位置

G-バンドピーク位置

G-バンド FWHM

G-バンド FWHM

2D-バンド強度(2685 cm<sup>-1</sup>)

2D-バンド強度(2685 cm-1)

2D-バンドピーク位置

2D-バンドピーク位置

2D-バンド FWHM

2D-バンド FWHM

Sample courtesy of Prof. Dong Wang, Institute of Chemistry Chinese Academy of Sciences

測定例3:錠剤(785nm励起による蛍光低減)

錠剤のラマンスペクトル(532nm励起では強い蛍光)

ラマンスペクトル

錠剤表面

ラマンスペクトル

錠剤内部

2Dラマンイメージ(785nm励起)

ラマンイメージ

470cm-1

ラマンイメージ

1600cm-1

ラインスキャンオプションと応用例

  • パワー密度を抑えて試料のダメージを避けるため、ライン状にレーザー光を照射
  • レーザー照射したライン上から、ラマンスペクトルを同時に多点取得
  • 点測定とラインスキャン測定の各モードをスライダーにより簡単切替可
    ※オプション利用可:Nanofinder®FLEX2、Nanofinder®FLEX(soon)

応用例1:Li-Ionバッテリー

レーザー強度: 1.7 mW
測定点数: ~21,000 点
マッピング時間: ~20 分

LiCoO2 (赤)とカーボン(青)の
ラマン強度イメージ (XY平面)

LiCoO2とカーボンのラマンスペクトル
(1x1 um領域の平均値)

    LiCoO2 (赤)とカーボン(青)の ラマン強度イメージ (X-Z平面)

試料:首都大学東京 都市環境学部 金村研究室提供

高速広域スキャンオプションと応用例

  • モーターステージを用いた、mmやcm領域の広域マッピング
  • 一定速度の試料移動とデータ取得を同期させた高速スキャン
  • ソフトウェアから、点測定と高速スキャン測定を簡単に切替可
  • ラインスキャンとの共存可(対応モデル: Nanofinder FLEX2, Nanofinder FLEX)
    ※本スキャンオプションには、モーターステージが必要です。

応用例1:テストグリッド

測定範囲: 27.5 mm X 3.85 mm
測定点: 218,827 (2,751x77)
測定時間: 約25 分 (~7.2 ms/点)

応用例2:医薬錠剤

測定範囲: 7.75×7.75 mm
測定点: 24,025 (155×155)
マッピング時間: 50 分 (~125 ms/点)

アスピリン(青)と パラセタモール(赤)の
ラマン強度イメージ

アスピリンとパラセタモールのラマンスペクトル
40xNA0.6, 露光時間: 1分

 
レーザーの数 2(標準セット532 nm、785 nm)
オプションレーザー波長: 355, 473, 488, 632.8, 830, 976 nm
2本の検出ファイバーコア -高分解能(HR)モード:50mコア
-高スループット(HT)モード:105mコア
その他のオプションもあります。
標準スキャナ - XYZピエゾステージ -100μm移動範囲
-位置の再現性:5nm
オプション:移動範囲の変更、ステップモータースキャナ、AFMスキャナ
レーザー 532 nm 785 nm
波数範囲(cm-1) 50~4000 40~3000
分解度a)(cm-1/pix) 1.3(at 546 nm) 0.49(at 812 nm)
スペクトル分解能a),b)FWHM,typ(max)(cm-1) <2(2.6)(at 546 nm) <0.75(1)(at 812 nm)
空間分解能b),c)X-Y(nm) <350 <500
空間分解能b),c)Z(nm) <900 <900

a) f=350 mmの分光計, 1800G/mmの回折格子, 30 μmのエントランススリット, 26μmのCCDピクセルの場合
b) 50μmコアファイバー ("高分解能" 共焦点モード)
c) 対物レンズ 100X NA=0.95使用時

サイズ FLEX2ラマンユニット付き顕微鏡設置面積
● オリンパス顕微鏡フレーム:270×380mm
● フリースペースグラナイトフレーム顕微鏡:390×580mm
標準350mm分光器 設置面積:510×395mm
消費電力:100V~15Aまたは220V~7.5A

拡張ソフトウェア

■ フルシステムコントロール、1-2-3Dデータ解析&視覚化
■ 全てのマッピングポイントにおけるフルラマンスペクトルの保存
■ 複数の検出器の同時読み出し
■ TV-CCDサンプルイメージ上のマッピングエリア選択
■ 高速スキャン
■ スペクトルの縫合
■ スループット補正
■ マクロスポットマッピング
■ イメージ蓄積
■ スペクトルフィッティング:5つまでのローレンツ/ガウス曲線
■ 1D, 2Dデータの逆重畳プロセス
■ AFMトポグラフィ、ラマンスペクトルの同時観測、TERS機能

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