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非破壊・非接触で薄膜の膜厚測定が可能
膜厚測定器 NanoCalcシリーズ(反射・透過式)

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薄膜測定器 NanoCalcシリーズ(反射・透過式) 薄膜測定器 NanoCalcシリーズ(反射・透過式)

製品概要

膜厚測定器 NanoCalcシリーズ(反射・透過式) は、薄膜サンプルに白色光を照射し、薄膜表面と基板からの反射光/透過光の光干渉パターンから膜厚解析を行なう薄膜測定器です。
サンプルに光を照射するだけなので非接触・非破壊であり、かつ高精度・迅速な膜厚測定が可能で、透明または半透明の薄膜測定に威力を発揮します。
解析ソフトウェアは400種類以上の材料のデータベースを含みます。未登録の材料でも、屈折率・吸収係数を用意することで追加登録も可能です。
マッピングステージや顕微測定用専用顕微鏡、湾曲サンプル用の専用アダプターなど、オプションも豊富です。

簡単セットアップ

本体とPCをUSBケーブルで接続し、光ファイバーケーブルを本体に接続して測定用ステージに固定するだけなので、セットアップは数分で完了します。
本体には分光器とハロゲン光源や重水素光源が内蔵されています。本体内の光源から発せられた白色光は、光ファイバーケーブルによってサンプルまで導かれて照射されます。サンプルの表面および基板からの反射光、またはサンプルからの透過光は光ファイバーケーブルに入射された後、本体内の分光器に導かれます。
専用ソフトウェア上で分光スペクトルが表示され、サンプル構造によって発生した干渉パターンにより膜厚がわずか数秒で解析されます。

反射測定のセットアップ例

使いやすい専用ソフトウェア

専用ソフトウェアは独自の強力な膜厚解析アルゴリズムにより、平滑なサンプルはもちろん、荒さのあるサンプルでも解析が可能です。
直感的かつ簡単に使用可能なソフトウェアとなっており、レシピの作成・保存やリファレンススペクトルの保存も行なうことができるので、1度測定したサンプルはすぐに測定を開始することができます。
設定後は、2回クリックするだけで簡単に膜厚を測定できます。

専用ソフトウェア画面

サンプル:Si基板上のSio2

マッピングに対応

膜厚測定器 NanoCalcシリーズ(反射・透過式)はマッピングオプションとして、6インチおよび12インチのマッピングステージがあります。
ステージは、専用のマッピングモジュールソフトウェアから各種パラメーターを設定して制御します。
スキャン範囲を定義して測定した後は2Dまたは3Dプロットして結果を表示することができます。 設定した各種パラメーターをレシピとして保存して、後から簡単に読み出して同じ測定を行なうことができます。

マッピングステージ

各種アクセサリ

顕微鏡下での膜厚測定用の顕微鏡用アダプター、曲面サンプル測定用のアダプターがある他、反射測定・透過測定・マッピング測定用の各種ステージ、多点測定用のマルチプレクサ—等、多種の測定に対応するアクセサリを取り揃えています。

特長

  • 非接触・非破壊かつ短時間で膜厚測定が可能
  • 膜厚範囲1nm~250μmまで対応
  • 400以上の豊富な材料データベース
  • 粗い表面、厚膜のサンプル用の膜厚解析モードを搭載
  • マッピング、顕微測定に対応可能(オプション)

用途

  • 半導体分野(酸化膜、窒化膜、フォトレジストなど)
  • 太陽電池分野
  • FPD分野(LCD, TFT, OELD, PDP)
  • 光学コーティング(反射防止膜、ハードコート、フィルター)
  • 金属、ポリマー、有機膜など

反射・透過式薄膜測定器 NanoCalcシリーズ仕様

シリーズ NANOCALC-VIS NANOCALC-XR NANOCALC-DUV NANOCALC-NIR
測定波長範囲 400-850 nm 250-1050 nm 200-1100 nm 900-1700 nm
膜厚測定範囲 50 nm - 20 μm 10 nm - 100 μm 1 nm - 100 μm 100 nm - 250 μm
膜厚分解能 0.1 nm
繰返し再現性 0.3 nm 1.0 nm
 入射角度 90°
膜層数 最大10層
屈折率測定 可能 (オプション)
サンプルの種類 透明または半透明な薄膜サンプル
リファレンスの必要性 必要 (ベア基板)
測定モード 反射および透過測定
粗いサンプルの測定 可能
測定速度 100 ms to 1 s
オンラインでの使用 可能
高さ調整 10-50mm可能 (COL-UV-6.35使用時)
スポットサイズ 200 または 400 μm (標準)
100 μm (オプション)
400 μm (標準)
200 μm (オプション)
マイクロスポット 可能 (顕微鏡使用時)
マッピングオプション 150 mm (6インチ) および 300 mm (12インチ)
12インチ xy-スキャニングステージ
真空対応 可能
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