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プロセスのリアルタイムスペクトルモニタリング 透過・吸収測定やプラズマプロセスなどの多種の用途に対応
プラズマモニター PlasCalc-2000-UV/VIS/NIR

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プラズマモニター PlasCalc-2000-UV/VIS/NIR プラズマモニター PlasCalc-2000-UV/VIS/NIR

製品概要

本製品は200〜1100 nmの広い波長範囲を最小3msの露光時間から計測可能な、優れたデータ取得・シグナル処理機能を持つ洗練されたシステムです。
各プロセス中のスペクトルをリアルタイムでモニタリングできる他、一度取得した分光データに新しいレシピ条件を当てはめてシミュレーションを繰り返し行うこともできるので、プロセスに効率的なレシピを作成可能です。警告音やメッセージ表示の設定機能の他、デジタル入出力・アナログ出力機能によって他の装置と併せてプロセス管理を行なうのに最適です。
プラズマプロセスで取得したプラズマ発光スペクトルを豊富なスペクトルデータベースから同定できる解析ソフトウェアもご提供しています。

簡単なセットアップ

本体とPCをUSBケーブルで接続し、ファイバーケーブルを真空チャンバーの窓まで伸ばして固定するだけなので、セットアップは数分で完了します。
本体後部にデジタル入力・出力およびアナログ出力を各4チャンネル持つので、他の装置類とのシグナル伝達により、各種プロセスの制御を行なうことができます。

セットアップの簡易図

モニタリングソフトウェア

専用のモニタリングソフトウェアでは、スペクトルグラフと強度モニタリングの2つのグラフを表示します。スペクトルグラフ上で単一波長または波長幅を指定して、複数の重要なスペクトルに対して同時に強度モニタリングを行なうことができます。
指定したスペクトルに対して加減乗除の処理を行ないながらモニタリングをすることも可能で、その他にも設定した閾値に対してアラーム処理やコメント表示を行なう等のプロセスに役立つ機能が搭載されています。
取得したスペクトルデータはテキスト形式、強度モニタリングデータは専用ファイルで保存できます。強度モニタリングデータは保存した後でも、モニタリングする波長を追加・削除して、再度強度モニタリングの変化を確認することができます。
これらの機能により、難しいプロセス状況でも処理できるレシピを作成することができます。

モニタリングソフトウェア画面

スペクトル同定ソフトウェア SpecLine

SpecLineは定性分析のためのスペクトルデータの評価に対応し、簡単に使用できます。
スペクトル中の特定のラインスペクトルの検出、不明なピークの同定、原子・分子のラインスペクトルの同定、異なった測定データとの比較などに役立ちます。
ほとんどンスペクトルラインは強力なフィルター機能と、原子・分子の豊富なデータベースによって自動的に同定できます。
スペクトルデータは様々な評価機能で評価できます。
スペクトルの表示パラメーターの変更、波長の設定、スムージングが可能です。
スペクトルの比較が1つのダイアグラム内で簡単に行なえます。
最大12のスペクトルまで、異なるファイル形式でも1つのダイアグラムに表示できます。
個々のスペクトルをお互いに比較することができます。
スペクトルライン同定ダイアグラムでは、ピーク検出、スペクトルラインの同定に必要な全てのパラメーターが簡単に定義でき、スペクトルラインの同定は1回のクリックで開始できます。さらにノイズスムージング、フィルタリング機能により、自動ピーク検出の改善が可能です。
豊富なデータベースはシミュレーションにも活用できます。
原子・分子を選択した後、スペクトルラインの位置が表示されます。

スペクトル同定ソフトウェア画面

特長

・リアルタイムスペクトルモニタリング
・広範囲のスペクトルピーク検出
・測定波長範囲 200〜1100 nm
・波長分解能 1.5 nm (FWHM)
・I/O-D/A-変換 14 Bit
・デジタル入力/出力 8×TTL/8×TTL
・アナログ出力 4×(0〜10 V)
・スタート、ストップ、リミット時に警告音発生・コメント表示の設定可能
・スペクトル中の特定のラインスペクトルの検出、不明なピークの同定、異なった測定データとの比較(オプション)
・ノイズスムージング機能、自動ピーク検出機能(オプション)
・豊富なスペクトルデータベース(オプション)

主な用途

・膜蒸着
・プラズマエッチング
・表面クリーニング
・プラズマチャンバー環境コントロール
・保護コーティング
・パルスマグネトロンスパッタリング
・異常なプロセス現象のコントロール(汚染、放電)
・プロセスの最適化
など

●本体仕様

測定波長範囲 200 〜 1,100 nm
波長分解能 (FWHM) 1.5 nm (typical)
最小露光時間 3 ms (ソフトウェア上で設定)
D/A コンバーター 14 bit
電源 90-240 VAC 50/60 Hz
消費電力 12 VDC @ 1.25 A
デジタル入力/出力 TTL, 各4 チャンネル
(Low level ? 0 V, High level ? 5 V)
アナログ出力 4 チャンネル, 0〜10 V
ファイバーコネクタ SMA
通信インターフェース USB 2.0
動作環境温度/湿度 5〜35 ℃ / 5〜95 % (結露無きこと)
本体寸法(L×H×W) 257×152×263 mm
重量 3.9 kg
  • ●ソフトウェア機能
  • ・ 計測パラメーター設定 : 計測時間間隔、露光時間、積算回数、ボックスカー
  • ・ 手動測定開始/停止
  • ・ 自動測定開始/停止
  • (デジタル入力端子への外部TTL 信号入力による, 4 チャネル)
  • ・ スペクトル(シングル、バンド)の指定・追跡
  • ・ スペクトルデータ/モニタリングデータの保存
  • ・ スペクトルの四則演算 (差スペクトル, 比スペクトル 等)
  • ・ リファレンススペクトル・バックグラウンドスペクトルの保存
  • ・ モニタリングしているスペクトルのシグナルに対するノーマライズ処理
  • ・ セットポイントの設定
  • ・ Y 軸のオートスケーリング機能
  • ・ 設定条件によりメッセージ表示、音響信号発生
  • ・ 設定条件によりアナログ出力端子より電圧出力( 0〜10 V)が可能 (4 チャンネル)
  • ・ 設定条件によりデジタル出力端子よりTTL 信号出力が可能 (4 チャンネル)
  • ・ 保存されたスペクトルデータ、モニタリングデータ使用によるシミュレーション、レシピ作成
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