高剛性ボディー、高精度オプティクス、高精密スリット搭載の軟X線分光器。 軟X線~紫外領域の分光計測に最適。
軟X線分光器

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信頼と実績を誇る分光器の名門。軟X線分光器 信頼と実績を誇る分光器の名門。軟X線分光器

製品概要

McPherson(マックファーソン)社は50年の信頼と実績を誇る分光器の専門メーカーです。軟X線から真空紫外、紫外、可視、赤外までの各種分光器を設計製造し、高剛性ボディー、高精度オプティクス、高精密スリットの採用で高い信頼性と性能を有します。  分光器を知り尽くした高い技術力により様々なご要求に対するシステム化、特注にも対応しております。

特長

・軟X線紫外 (1nm~UV)
・焦点距離:20cm~10m
・高精度オプティクス採用による高スループット,高分解能,波長精度,波長再現性
・用途、波長領域によって各種光学デザイン有り(瀬谷-波岡型、ツェルニターナ型、直入射型、斜入射型)
・高精密スリットの採用
・超高真空モデルあり
・取付容易で精度の高いスナップイングレーティング方式
・単素子検出器の他、CCD・MCP等のマルチチャンネル検出器にも対応
・光源、サンプルチャンバー、排気系、データ出力系を含めたシステムアップ,特注対応可能

分光器の一例

McPherson 248・310G型 248 / 310G型1m斜入射真空紫外分光器
・入射角は84~88°希望角度で固定
・メインチャンバーの真空を保ちつつ光源やディテクターの交換が可能
・ローランドサークル精度±4μm
・入出射ポートに小型ゲートバルブ内蔵の為、一部のみ大気解放でグレーティング交換可能


分光器仕様

248/310F型軟X線斜入射分光器仕様

分光器モデル 248/310G型
光学デザイン 斜入射
曲率半径 (mm) 1000
偏角   84〜88°
F値 F/44
測定波長域 *1 1 nm 〜 310nm
逆線分散 (nm/mm) *2 0.05 〜 0.27
波長分解能 (nm) *2 0.018
グレーティングサイズ (mm) 25×20
グレーティング同時搭載枚数 1
真空度 (Pa) 10-4
超高真空タイプ有り(10-8 Pa)
グレーティング種類 (G/mm) 3600
2400
2160
1800
1200
600
576
300
133.6
  • *1. グレーティングにより測定領域は異なります。
  • *2. 1200G/mmグレーティング, 10μmスリット、184.9nm測定の場合です。

251型軟X線用平面結像分光器仕様

分光器モデル 251MX型 251MX型 251型 251型
光学デザイン 収差補正トロイダルグレーティング
偏角 172° 167° 140° 140°
フォーカルプレーン (mm) 25 40
真空度 (Pa) 10-4
超高真空タイプ有り(10-8 Pa)
グレーティング種類 (G/mm) 2400 1200 2105 450
測定波長域 (nm) 1 〜 5 5 〜 20 9.5 〜 32 10 〜 110
測定エネルギー帯 (eV) 248 〜 1240 62 〜 248 39 〜 130 11 〜 124
波長分解能 (nm) *1 0.01 0.028 0.05 0.10
  • *1.10μmスリット、184.9nm測定の場合です。

343型トロイダル回折格子分光器

分光器モデル 343型
光学デザイン トロイダル回折格子
偏角 142°
焦点距離 320mm
F値 F/10.5
真空度 (Pa) 10-4
グレーティング 550 550 275
波長範囲 (nm) 10〜50 15〜150 50〜300
波長範囲 (eV) 25〜124 8〜32 4〜25
波長分解能 (nm) 0.3 0.6 1.3
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