高剛性ボディー、高精度オプティクス、高精密スリット搭載の真空紫外分光器。 真空紫外~紫外領域の分光計測に最適。
真空紫外分光器

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真空紫外分光器 真空紫外分光器

製品概要

McPherson(マックファーソン)社は50年の信頼と実績を誇る分光器の専門メーカーです。軟X線から真空紫外、紫外、可視、赤外までの各種分光器を設計製造し、高剛性ボディー、高精度オプティクス、高精密スリットの採用で高い信頼性と性能を有します。 分光器を知り尽くした高い技術力により様々なご要求に対するシステム化、特注にも対応しております。

特長

・軟X線紫外 (1nm~UV)
・焦点距離:20cm~10m
・高精度オプティクス採用による高スループット、高分解能、波長精度、波長再現性
・用途、波長領域によって各種光学デザイン有り(瀬谷-波岡型、ツェルニターナ型、直入射型、斜入射型)
・高精密スリットの採用
・超高真空モデルあり
・取付容易で精度の高いスナップイングレーティング方式
・単素子検出器の他、CCD・MCP等のマルチチャンネル検出器にも対応
・光源、サンプルチャンバー、排気系、データ出力系を含めたシステムアップ、特注対応可能

分光器の一例

McPherson234/302型 234/302型20cm真空紫外分光器
・コンパクトな瀬谷.波岡型分光器
・VUVVISNIR まで対応可能
・F/4.5 の明るい分光器
・PMT の他CCD 取り付け可能


McPherson 225型 225型1 mNOVA直入射真空紫外分光器
・McPherson 型光学配置の直入射真空紫外分光器
・ステンレススチール製真空容器
・精密な一個のカムによる焦点合せと波長調整
・偏光と非点収差は最少


分光器仕様

真空紫外分光器仕様

分光器モデル 234/302型 235型 225型
光学デザイン 瀬谷 - 波岡型 瀬谷 - 波岡型 McPherson型直入射
焦点距離 (mm) 200 500 1000
入射スリット・出射スリット角度  64°or 180° 70°15' 15°
F値 F/4.5 F/11.6 F/10.4
測定波長域 *1 30 nm 〜 2.2μm 30 nm 〜 1.2μm 30 nm 〜 1.2μm
逆線分散 (nm/mm) *2 4 1.6 0.83
波長分解能 (nm) *2 0.1 0.05 0.015
波長再現性 (nm) *2 ±0.05 ±0.005 ±0.005
波長精度 (nm) *2 ±0.1 ±0.1 ±0.1
グレーティングサイズ (mm) 40×45 30×50 56×96
グレーティング種類 (G/mm) 2400
1200
600
300
3600
2400
1800
1200
600
300
3600
2400
1800
1200
600
300
グレーティング同時搭載枚数 1 (オプションで2枚可能) 1 1 (オプションで4枚可能)
真空度 (Pa) 10-4
その他 超高真空タイプ有り(10-8 Pa) 超高真空タイプ有り(10-8 Pa)
  • *1. グレーティングやコーティングにより測定領域は異なります。
  • *2. 1200G/mmグレーティング, 10μmスリット、184.9nm測定の場合です。
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