フルカラー、~50nm分解能の超解像イメージング
超解像顕微鏡 NANOPSIS M

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超解像顕微鏡 NANOPSIS M 超解像顕微鏡 NANOPSIS M

超解像顕微鏡 NANOPSIS M  製品概要

LIGNA NOWAISE社の「NANOPSIS M」は 400倍の対物レンズ(SMAL)を内蔵することにより、 フルカラーで50nmの分解能を達成した世界で初めての超解像顕微鏡です。 スキャン範囲は、分解能1nm時、最大200μm×200μmまで非破壊で測定が行えます。 また、標準対物レンズと400倍の対物レンズ(SMAL)との切り替え測定も行えます。 尚、使用するにあたり、特別なトレーニングは必要なく、簡単な操作ですぐに測定可能です。 半導体、グラフェン等の材料観察の用途に最適です。

特長

  • 回折限界を越える分解能
  • 世界初! 400倍対物レンズ(SMAL *2)採用
  • 標準対物レンズとSMALとの切替観察可能
  • 非破壊測定
  • 簡単操作、特別なトレーニング不要
  • 半導体、グラフェン等の材料観察に最適

*2 SMAL : Super-resolution Microsphere Amplifying Lens

超解像顕微鏡 NANOPSIS M  測定データ

半導体イメージング 明視野観察とNANOPSIS Mの比較

明視野観察(100倍oil対物レンズ)

NANOPSIS M(SMAL):20×20μmスキャン

半導体イメージング 50nm分解能

左の図から明視野観察(100倍oil対物レンズ)、SEM、NANOPSIS M(SMAL)

グラフェンイメージング

明視野観察(100倍oil対物レンズ)

超解像顕微鏡 NANOPSIS M 仕様

対物レンズ SMAL (水浸/油浸)
倍率400倍相当
XY空間分解能 50nm ~ (*サンプルによります)
焦点距離 1~2μm
スキャニングステージ スキャン範囲200μm×200μm/分解能1nm
カメラ 400万画素sCMOS
インターフェース USB3.0
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