SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置に後付けできる革新的アクティブ除振台
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アクティブ除振台

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アクティブ除振台 アクティブ除振台

アクティブ除振台 製品概要

イスラエル国K&S Adcvanced Systems 社が開発したアクティブ除振台は、既存のSEM、TEM、SPM、AFMといった顕微鏡や半導体製造装置のような大型設備に、後付けで設置可能な革新的除振台です。
独自開発のダンパー構造で振動を低減し、またピエゾアクチュエータではなくリニアモーターを使用しているため、長ストロークの振動にも対応。また壊れにくい構造となっております。
除振台内にオシロしコープとスペクトルアナライザーを搭載しており、振動状況をリアルタイムでモニタリングしながら、カスタム調整を行うことも可能です。

特長

  • リニアモーター搭載:軽量化&超アクチュエータストロークを実現
  • 6軸アクティブ制御
  • 除振範囲:0.5~100Hz
  • 内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング
  • 内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング
  • ワークステーション環境にシームレスで組込み
  • 立ち上げ後の最チューニング不要
  • カスタマイズ可能
  • モジュラータイプは制御台数無制限

電子顕微鏡画像の比較

Aris MD未使用

Aris MD使用

ソフトウェア

オシロスコープモード

スペアナモード

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この度、「御見積書依頼用フォーム」をご用意致しました。
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お客様情報やお見積り内容など、必要事項をご入力のうえ、
PDFを保存、弊社宛にPDFをメールまたはFAXにて送信してください。
当社にて確認次第、無料でお見積り額をご連絡いたします。
どうぞお気軽にご依頼ください。

メールアドレス:tiiweb@tokyoinst.co.jp
FAX番号:03-3686-0831
尚、フォーム内の左上にも記載しています。

アクティブ除振台 ARIS TTシリーズ仕様

Aris TT75i Aris TT75 Aris TT75x Aris TT100
寸法 (W×D×H) mm 300×450×65 300×450×80 400×500×80 400×500×80
耐荷重 15~75kg 15~75kg 15~75kg 40~100kg
アクチュエータ 出力 垂直: 50N 水平: 25N
除振範囲 0.5~100Hz
構造 MVIS-多層防振構造
自由軸 4軸 6軸 6軸 6軸
除振性能 ~8db(1Hz)
~20db(2Hz)
セトリング時間 ≤0.1秒
リアルタイム 分析ツール 内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ
内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー
リアルタイム 調整 全自由度調整可能
リモートコントロール
対応電源 AC 80~260V/50~60Hz
Aris TT150 Aris TT180 Aris TT200
寸法 (W×D×H) mm 400×500×80 500×600×80 600×800×80
耐荷重 70~150kg 80~180kg 90~200kg
アクチュエータ 出力 垂直: 50N 水平: 25N
除振範囲 0.5~100Hz
構造 MVIS-多層防振構造
自由軸 6軸
除振性能 ~8db(1Hz)
~20db(2Hz)
セトリング時間 ≤0.1秒
リアルタイム 分析ツール 内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ
内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー
リアルタイム 調整 全自由度調整可能
リモートコントロール
対応電源 AC 80~260V/50~60Hz

アクティブ除振台 ARIS MDシリーズ仕様

Aris MD300 Aris MD500 Aris MD1000
寸法 (W×D×H) mm 270×230×75 270×230×75 370×230×75
モジュールあたり耐荷重 100~300kg
設置数制限なし
200~500kg
設置数制限なし
500~1000kg
設置数制限なし
アクチュエータ 出力 垂直: 80N
水平: 40N
除振範囲 0.5~100Hz
構造 MVIS-多層防振構造
自由軸 6軸(システムごと)
除振性能 ~8db(1Hz)
~20db(2Hz)
セトリング時間 ≤0.1秒
リアルタイム 分析ツール 内蔵リアルタイム2xチャンネル オシロスコープ
内蔵リアルタイム2xチャンネルスペクトルアナライザー
モジュール・システムごとに搭載
リアルタイム 調整ツール 全自由度調整可能
リモートコントロール
対応電源 AC 80~260V/50~60Hz
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