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クロマティックコンフォーカル
OptoTop(非接触式3次元表面形状・粗さ測定機)

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OptoTop(非接触式3次元表面形状・粗さ測定機) OptoTop(非接触式3次元表面形状・粗さ測定機)

本装置は、クロマティックコンフォーカルセンサーを用いた高精度な非接触式の3次元表面形状/粗さ測定装置です。
目的に合わせた様々センサーがあり、容易に交換可能できます。
接触式3次元表面形状測定機(UST)に対しても容易に取り付け可能ですので、接触及び非接触の両側面からの比較も容易にできます。

測定原理(クロマティックコンフォーカル方式))

軸上収差レンズに点光源(白色光源)を通すと、サンプル表面に波長ごとに位置の異なった(S')ができます。サンプル表面から反射された光がピンホール上(S'')で再び結像されます。
ピンホールを通過した光の各波長成分は、サンプル表面の深さ情報と等しい為、各々の波長を分光器で検出すると、表面形状および粗さ(DIN EN ISO 4288規格に準拠)を計測することができます。

測定事例

原稿用紙の表面

革の表面

フレネルレンズの表面

OptoTop®仕様

装置名 OptoTop®
走査範囲(XY軸) 60 mm×60 mm
走査範囲(Z軸) 300 µm 1 mm 2 mm
分解能(XY軸) 1.55 µm 2 µm 4 µm
分解能(Z軸) 12 nm 25 nm 75 nm
走査速度 100 µm/s~10 mm/s
測定周波数 30 Hz、100 Hz、300 Hz、1 kHz

*上記以外にも目的に合わせた様々なセンサーをご用意しておりますので、
お気軽にお問い合わせください。

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