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3次元表面形状測定器(接触式)
UST(3次元表面形状測定器)

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UST(3次元表面形状測定機) UST(3次元表面形状測定機)

製品概要

弱い力(1mN~1000mN)による材料表面の形状(2次元、3次元)及び
形状変化(摩耗、摩耗、耐久性、弾性変位、粘弾性変位、スクラッチ、硬度、ハプティクス、ダンピング等)を
評価するための計測機器です。

計測方法(MSISTAN®プロセス)

①最小圧力(1mN)で材料表面を走査し、表面の形状を測定(赤線)
②任意の圧力(1mN~1000mN)をかけた状態で材料表面を走査し、表面の形状を測定(緑線)
③最小圧力(1mN)で材料表面を再走査し、表面の形状を測定(青線)

計測方法について
●表面形状計測
 ①の測定結果から材料表面の形状を計測。
●総変位
 ①と②の測定結果(①-②)から任意の圧力における材料表面の変位量(Vg)を計測。
●弾性変位
③と②の測定結果(③-②)から材料表面の弾性変位(Ve)を計測。
●永久ひずみ
 ①と③の測定結果(①-③)から弾性変位でも回復しない変位量(Vp)を計測。

測定事例

3次元表面形状測定

UST®仕様

装置名 UST®100 UST®1000
荷重 1mN~100mN 10mN~1000mN
走査範囲 XY軸:±25mm(0mm~50mm)
Z軸:±2mm
走査速度 100µm/s~10mm/s
分解能 XY軸:1µm
Z軸:60nm(走査範囲:±250µm)
Z軸:240nm(走査範囲:±2mm)

標準チップ

・スチールコーン 60°
・ダイヤモンドコーン 60°-120°
 摩耗、スクラッチ、粗さ測定用
・スクラッチダイヤモンド120°
 スクラッチ抵抗測定用
・ビッカース/バーコビッチピラミッド
 硬度測定用
・スチールボール
 直径0.8 mm/1.8 mm/5..0 mm/20 mm
・カッティングツール
 切断抵抗測定用
 上記以外にもご希望に応じたチップをご用意できます。
※右横の製品画像は、クリックすると拡大できます。※

ハードウェアオプション

・TA-X(摩擦抵抗測定)
異種材料及びコーティングの摩擦抵抗を非破壊で計測

・マイクロトライボロジー/マイクロ摩擦モジュール
<1 mNの分可能で静止摩擦/スライディング摩擦を計測

・非接触3次元表面形状測計測モジュール(OptoTop)
クロマティックコンフォーカル方式による3次元表面計測

ソフトウェアオプション

スクラッチ計測

マイクロトライポロジー計測(ISO 105 D01規格に準拠)

摩耗計測

粘弾性計測

硬度計測(DIN EN 14577-1規格に準拠)

ダンピング計測

表面粗さ(Ra/Rq/Rz)計測(DIN EN ISO 4287規格に準拠)

ハプティクス計測
様々な摩耗試験規格に準拠

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