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AFM/SPMプローブ

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Mikromasch
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AFM/SPMプローブ AFM/SPMプローブ

製品概要

Mikromasch社は多くのラインナップのAFM/SPMプローブを提供しています。 1レバーのみならず、3レバーや4レバーのスタンダードプローブや、高分解能プローブ、ティップレスプローブ、長寿命プローブ等を取り揃えています。

特長

・ほとんどの市販SPMで使用可能
・チップ裏面の金属コーティング(AlおよびCr-Au)により信号強度を向上
・低価格、高品質

主な用途

・走査型プローブ顕微鏡
・原子間力顕微鏡(AFM)
・ケルビンプローブ顕微鏡(KPM)、電気力顕微鏡(EFM)
・磁気力顕微鏡(MFM)
・高分解能測定

製品一覧

スタンダードプローブ

スタンダードプローブ

特長:
・鋭いティップ曲率半径(代表値:8nm)を持つ、標準的なプローブです。
・標準で裏面にAlコーティングしてあります。
・低価格
用途:
・走査型プローブ顕微鏡における各種測定


導電性コーティングプローブ

導電性コーティングプローブ

・Cr-Auコーティング (曲率半径 <35nm)
・Ptコーティング (曲率半径 <30nm)

特長:
・豊富なラインナップを用意
・低価格。
用途:
・導電性モードのSCM、SKM、SRI、EFM、I-Vカーブスペクトル測定、電圧リソグラフ  ィに使用


導電性コーティングプローブ DPEシリーズ

導電性コーティングプローブ DPEシリーズ

特長:
・導電層の特殊構造により安定的な電気的シグナルと低ノイズの測定が可能
用途:
・導電性モードのSCM、SKM、SRI、EFM、I-Vカーブスペクトル測定、
 電圧リソグラフィに使用


導電性コーティングプローブ DPREシリーズ

導電性コーティングプローブ DPREシリーズ

特長:
・通常のコーティング厚よりも薄く制御されており、高分解能での測定が可能
用途:
・導電性モードのSCM、SKM、SRI、EFM、I-Vカーブスペクトル測定、
 電圧リソグラフィに使用


磁気コーティングプローブ

磁気コーティングプローブ

・Co-Crコーティング (曲率半径 <60nm)

特長:
・飽和保磁力 300~400 Oe (代表値)
用途:
・磁気モードの測定


ティップレスプローブ

ティップレスプローブ

特長:
・異なる力定数・共振周波数のカンチレバーが3本取り付け
用途:
・力分光測定用に球体(sphere)や他の物体を取り付けるなど、カスタムアプリケーション
 用に使用


高分解能プローブ

高分解能プローブ

特長:
・シリコンティップの先端にダイアモンドライクカーボン(DLC)を伸長
・高分解能(1nm)の測定が可能
用途:
・高分解能測定
・nmオーダーの微細構造を持つサンプル
・従来のSPMプローブでは十分な分解能を得られなかったサンプル


長寿命プローブ

長寿命プローブ

特長:
・耐摩耗性、耐久性が向上するDLCコーティングが施されています。
・長寿命
用途:
・分解能が重要でないルーチン測定

AFM/SNOMプローブ仕様

Goldenシリーズ (スタンダード)

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.5μm
min typ max min typ max
HQ:NSC14/AlBS,/NoAl 125 25 2.1 110 160 220 1.8 5 13 Al
No Al
HQ:NSC15/AlBS,/NoAl 125 30 4 265 325 410 20 40 80
HQ:NSC16/AlBS,/NoAl 225 37.5 7 170 190 210 30 45 70
HQ:CSC17/AlBS,/NoAl 450 50 2 10 13 17 0.06 0.18 0.4
HQ:NSC18/AlBS,/NoAl 225 27.5 3 60 75 90 1.2 2.8 5.5
HQ:NSC19/AlBS,/NoAl 125 22.5 1 25 65 120 0.05 0.5 2.3
HQ:NSC35/AlBS,/NoAl A 110 35 2 130 205 290 2.7 8.9 24
B 90 35 2 185 300 430 4.8 16 44
C 130 35 2 95 150 205 1.7 5.4 14
HQ:NSC36/AlBS,/NoAl A 110 32.5 1 30 90 160 0.1 1 4.6
B 90 32.5 1 45 130 240 0.2 2 9
C 130 32.5 1 25 65 115 0.06 0.6 2.7
HQ:CSC37/AlBS,/NoAl A 250 35 2 30 40 55 0.3 0.8 2
B 350 35 2 15 20 30 0.1 0.3 0.6
C 300 35 2 20 30 40 0.1 0.4 1
HQ:CSC38/AlBS,/NoAl A 250 32.5 1 8 20 32 0.01 0.09 0.36
B 350 32.5 1 5 10 17 0.003 0.03 0.13
C 300 32.5 1 6 14 23 0.005 0.05 0.21
HQ:XSC11/AlBS,/NoAl A 500 30 2.7 12 15 18 0.1 0.2 0.4
B 210 30 2.7 60 80 100 1.1 2.7 5.6
C 150 30 2.7 115 155 200 3 7 16
D 100 50 2.7 250 350 465 17 42 90
シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.5μm
min typ max min typ max
HQ:NSC15/Cr-Au BS 125 30 4 265 325 410 20 40 80 Cr-Au
HQ:NSC18/Cr-Au BS 225 27.5 3 60 75 90 1.2 2.8 5.5
HQ:NSC35/Cr-Au BS A 110 35 2 130 205 290 2.7 8.9 24
B 90 35 2 185 300 430 4.8 16 44
C 130 35 2 95 150 205 1.7 5.4 14
HQ:NSC36/Cr-Au BS A 110 32.5 1 30 90 160 0.1 1 4.6
B 90 32.5 1 45 130 240 0.2 2 9
C 130 32.5 1 25 65 115 0.06 0.6 2.7

導電性コーティング (Auコーティング)

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
ティップ
コート
長さ
±5
μm

±3
μm
厚み
±0.5
μm
min typ max min typ max
HQ:NSC14/Cr-Au 125 25 2.1 110 160 220 1.8 5 13 Cr-Au Cr-Au
HQ:NSC15/Cr-Au 125 30 4 265 325 410 20 40 80
HQ:NSC16/Cr-Au 225 37.5 7 170 190 210 30 45 70
HQ:CSC17/Cr-Au 450 50 2 10 13 17 0.06 0.18 0.4
HQ:NSC18/Cr-Au 225 27.5 3 60 75 90 1.2 2.8 5.5
HQ:NSC19/Cr-Au 125 22.5 1 25 65 120 0.05 0.5 2.3
HQ:NSC35/Cr-Au A 110 35 2 130 205 290 2.7 8.9 24
B 90 35 2 185 300 430 4.8 16 44
C 130 35 2 95 150 205 1.7 5.4 14
HQ:NSC36/Cr-Au A 110 32.5 1 30 90 160 0.1 1 4.6
B 90 32.5 1 45 130 240 0.2 2 9
C 130 32.5 1 25 65 115 0.06 0.6 2.7
HQ:CSC37/Cr-Au A 250 35 2 30 40 55 0.3 0.8 2
B 350 35 2 15 20 30 0.1 0.3 0.6
C 300 35 2 20 30 40 0.1 0.4 1
HQ:CSC38/Cr-Au A 250 32.5 1 8 20 32 0.01 0.09 0.36
B 350 32.5 1 5 10 17 0.003 0.03 0.13
C 300 32.5 1 6 14 23 0.005 0.05 0.21

導電性コーティング (Ptコーティング)

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
ティップ
コート
長さ
±5
μm

±3
μm
厚み
±0.5
μm
min typ max min typ max
HQ:NSC14/Pt 125 25 2.1 110 160 220 1.8 5 13 Pt Pt
HQ:NSC15/Pt 125 30 4 265 325 410 20 40 80
HQ:CSC17/Pt 450 50 2 10 13 17 0.06 0.18 0.4
HQ:NSC18/Pt 225 27.5 3 60 75 90 1.2 2.8 5.5
HQ:NSC35/Pt A 110 35 2 130 205 290 2.7 8.9 24
B 90 35 2 185 300 430 4.8 16 44
C 130 35 2 95 150 205 1.7 5.4 14
HQ:NSC36/Pt A 110 32.5 1 30 90 160 0.1 1 4.6
B 90 32.5 1 45 130 240 0.2 2 9
C 130 32.5 1 25 65 115 0.06 0.6 2.7
HQ:CSC37/Pt A 250 35 2 30 40 55 0.3 0.8 2
B 350 35 2 15 20 30 0.1 0.3 0.6
C 300 35 2 20 30 40 0.1 0.4 1
HQ:XSC11/Pt A 500 30 2.7 12 15 18 0.1 0.2 0.4
B 210 30 2.7 60 80 100 1.1 2.7 5.6
C 150 30 2.7 115 155 200 3 7 16
D 100 50 2.7 250 350 465 17 42 90
HQ:DPE-XSC11 A 500 30 2.7 12 15 18 0.1 0.2 0.4
B 210 30 2.7 60 80 100 1.1 2.7 5.6
C 150 30 2.7 115 155 200 3 7 16
D 100 50 2.7 250 350 465 17 42 90
HQ:DPER-XSC11 A 500 30 2.7 12 15 18 0.1 0.2 0.4
B 210 30 2.7 60 80 100 1.1 2.7 5.6
C 150 30 2.7 115 155 200 3 7 16
D 100 50 2.7 250 350 465 17 42 90

磁気コーティング

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
ティップ
コート
長さ
±5
μm

±3
μm
厚み
±0.5
μm
min typ max min typ max
HQ:NSC18/Co-Cr/AlBS 225 27.5 3 60 75 90 1.2 2.8 5.5 Al Co-Cr
HQ:NSC36/Co-Cr/AlBS A 110 32.5 1 30 90 160 0.1 1 4.6
B 90 32.5 1 45 130 240 0.2 2 9
C 130 32.5 1 25 65 115 0.06 0.6 2.7

ティップレスプローブ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.5μm
min typ max min typ max
HQ:NSC35/tipless A 110 35 2 130 205 290 2.7 8.9 24 Al
No Al
Cr-Au
B 90 35 2 185 300 430 4.8 16 44
C 130 35 2 95 150 205 1.7 5.4 14
HQ:NSC36/tipless A 110 32.5 1 30 90 160 0.1 1 4.6
B 90 32.5 1 45 130 240 0.2 2 9
C 130 32.5 1 25 65 115 0.06 0.6 2.7
HQ:CSC37/tipless A 250 35 2 30 40 55 0.3 0.8 2
B 350 35 2 15 20 30 0.1 0.3 0.6
C 300 35 2 20 30 40 0.1 0.4 1
HQ:CSC38/tipless A 250 32.5 1 8 20 32 0.01 0.09 0.36
B 350 32.5 1 5 10 17 0.003 0.03 0.13
C 300 32.5 1 6 14 23 0.005 0.05 0.21

高分解能プローブ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
ティップ
コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.5μm
min typ max min typ max
Hi'Res-C14/Cr-Au 125 25 2.1 110 160 220 1.8 5 13 Cr-Au Cr-Au
Hi'Res-C15/Cr-Au 125 30 4 265 325 410 20 40 80
Hi'Res-C19/Cr-Au 125 22.5 1 25 65 120 0.05 0.5 2.3

長寿命プローブ

シリーズ カンチレバー 共振周波数 (kHz) 力定数 (N/m) 裏面
コート
ティップ
コート
長さ
±5μm

±3μm
厚み
±0.5
μm
min typ max min typ max
HQ:NSC14/Hard/AlBS 125 25 2.1 110 160 220 1.8 5 13 Al DLC
HQ:NSC15/Hard/AlBS 125 30 4 265 325 410 20 40 80
HQ:NSC16/Hard/AlBS 225 37.5 7 170 190 210 30 45 70
HQ:CSC17/Hard/AlBS 450 50 2 10 13 17 0.06 0.18 0.4
HQ:NSC18/Hard/AlBS 225 27.5 3 60 75 90 1.2 2.8 5.5
HQ:NSC35/Hard/AlBS A 110 35 2 130 205 290 2.7 8.9 24
B 90 35 2 185 300 430 4.8 16 44
C 130 35 2 95 150 205 1.7 5.4 14
HQ:NSC36/Hard/AlBS A 110 32.5 1 30 90 160 0.1 1 4.6
B 90 32.5 1 45 130 240 0.2 2 9
C 130 32.5 1 25 65 115 0.06 0.6 2.7
HQ:XSC11/Hard/AlBS A 500 30 2.7 12 15 18 0.1 0.2 0.4
B 210 30 2.7 60 80 100 1.1 2.7 5.6
C 150 30 2.7 115 155 200 3 7 16
D 100 50 2.7 250 350 465 17 42 90
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