シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムなどの複屈折測定装置
切断前のSiインゴットの測定にも対応

赤外複屈折位相差測定装置 Exicor PV-Si

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複屈折位相差測定装置Exicor PV-Si 複屈折位相差測定装置Exicor PV-Si

製品概要

複屈折位相差測定装置Exicor® PV-Siは、シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムなどの複屈折分布を波長1550nmの赤外光で測定します。 モデル"500-Si-Ingot"は、シリコンウェーハに切断する前のインゴット(8インチ、500mm長)に対応します。

 

主な仕様

・測定波長1550nm
・リタデーション繰り返し測定精度 0.1nm
・測定スポットサイズ 2ミリ径
・測定時間 最大100点/秒
・インゴットサイズ 500×150mm (Squared ingot)、500×210mm (As-grown ingot)  

主な特長

・シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムの歪み検査
・インゴットのまま測定 (Squared、As grown ingots)
 

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