UV光の長期安定性を向上
Ultra-clean LDLS™にモデルチェンジ

レーザー励起光源ユニット LDLS™白色光源

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レーザー励起光源ユニット LDLS™白色光源 レーザー励起光源ユニット LDLS™白色光源

製品概要

ENERGETIQ社製LDLS白色光源(Laser-Driven Light Source)は、高輝度、紫外線(DUV)~近赤外線(NIR)の広波長域、微小発光点、長寿命、高安定性などの特長を併せ持つ新しいレーザー励起ランプ光源です。
放電電極で発生させたアーク放電をレーザー光で維持する独自点灯方式により、従来のキセノンや重水素ランプ光源よりも、超微小サイズ(0.1 mm)の発光点を実現すると同時に、紫外線(DUV)から近赤外線(NIR)領域と非常に広い発光波長範囲を持ち、特に紫外線(DUV)域では重水素ランプよりもはるかに多い光量と輝線を伴わない発光スペクトルが得られます。また、電極磨耗が無く、従来のランプに比べ長いランプ寿命を実現しています。一般的な放電式ランプに見られる発光点の揺らぎも殆ど無く、発光強度の安定性に優れた理想的な光源です。

独自点灯方式

キセノンを充填したランプバルブ内の放電電極で発生させたアーク放電に、半導体レーザーを集光し、プラズマを直接加熱・維持する独自点灯方式です。

LDLSの点灯原理

放電電極で発生させたアーク放電をレーザー光で維持

高輝度点発光(発光点サイズφ0.1mm)

発光点が小さく、微小スポットへの高輝度高効率集光照射が可能です。(分光器、シングルモードファイバーへの高効率入射)

LDLSと一般的なランプ光源の比較

LDLS光源の発光点サイズ は 微小Φ0.1mmで、
従来型ランプ光源よりも高輝度で発光します。

紫外線(DUV)~近赤外線(NIR)の広波長域

170nm~2100nmまでの広波長範囲で、特に紫外線(DUV)域で高い光量と輝線を伴わない発光スペクトルが得られます。

LDLSの発光スペクトル

長寿命 10,000時間以上(代表値)

LDLSの寿命 レーザー励起の為、放電開始時以外は電極を使いません。電極摩耗が少なく、従来型のキセノンランプと比べても格段の長寿命(ランプ寿命は代表値です。メーカ保証値はありません。)

光強度高安定性(発光点位置 ±0.4μm 安定)

発光部が半導体レーザー集光点なので、発光部の揺らぎが大幅に低減。中心スポットの安定性は、±0.4μm以内です。

LDLSの発光点揺らぎ

測定条件:200フレーム/秒のカメラにて発光部の一番明るい中心点を2500枚イメージ測定

LDLS白色光源 ラインナップ

EQ-99X 拡散照射仕様

微小発光点φ0.1mmの光が、小型光源ヘッドのフラットウィンドウからダイレクトに拡散照射される仕様です。 新型Xシリーズは、ハウジング表面処理を電解研磨に改める事で、UV光に対してクリーンで高耐久の構造となり、長時間安定性が向上しました。 また、標準の石英窓材の他、オプションでMgF2、BK7、LonpPass190nmフィルターなどに交換できる様になりました。 光源ヘッドサイズは、わずか82.3×85.7×76.2mmと非常に小型で、従来型ランプ光源に比べてはるかに小さい発熱量である為、限られた空間で の実験や装置組込みに最適です。光源ハウジングに冷却用ファンはなく、振動も発生しません。出射窓部分にはネジがきってあり、市販のレンズパ ーツを直接接続する事もできます。標準Normalコントローラー(トグルスイッチ仕様)に加え、新型ManagerコントローラーでPC制御も可能です。

LDLSの発光点揺らぎ LDLSの発光点揺らぎ

輝度分布

EQ-99XFC ファイバー照射仕様

微小発光点φ0.1mmの光を、小型光源ヘッド内部ミラー光学系で直接ファイバーに導入する、ファイバー照射専用の仕様です。新型Xシリーズは、ハウジング表面処理を電解研磨に改める事で、UV光に対してクリーンで高耐久の構造となり、長時間安定性が向上しました。また、ファイバーコネクターはSMAコネクターから、位置再現性に優れたFCコネクターに変更され、ファイバー脱着によるアライメント誤差が改善されました。コア600μmまでの単芯マルチモードファイバーの他、高輝度φ0.1mmの発光点サイズの利点を生かして、シングルモードファイバーへの高効率導入にも威力を発揮します。照射用ファイバーは、190~900nm用のSR仕様(UV高耐久 Solarization Resistance)と、NIR用のブロードバンド仕様を取り揃えております。光源ヘッドサイズは、わずか82.3×85.7×76.2mmと非常に小型で、従来型ランプ光源に比べてはるかに小さい発熱量である為、限られた空間での実験や装置組込みに最適です。光源ハウジングに冷却用ファンはなく、振動も発生しません。標準Normalコントローラー(トグルスイッチ仕様)に加え、新型ManagerコントローラーでPC制御も可能です。

LDLSの発光点揺らぎ LDLSの発光点揺らぎ

輝度分布

新製品  EQ-77 ハイパワー拡散照射仕様

高出力タイプのLDLS白色光源です。EQ-99仕様に比べ、約6倍の出力照射が可能です。 他の仕様同様に、微小発光点Φ0.1 mmの高輝度点発光の利点を生かし、更に微小ス ポットへの高出力光照射が可能となります。 出力方法は、光源ヘッド出射窓からNA0.50 で拡散照射されます。高出力タイプのため、光源ヘッドの窒素パージと水冷用チラー接 続が必要です。

LDLSの発光点揺らぎ LDLSの発光点揺らぎ

輝度分布

新製品  EQ-400 超高輝度拡散照射仕様

第5世代機種で主にOEM目的に開発された、LDLS史上最大出力モデルです。400Wの半導体レーザーで、プラズマ発光点の維持を行います。コンパクト光源 ヘッド(放電回路内蔵)を19インチラック電源から制御する装置構成で、水冷しながら点灯します。光の照射方法は、デュアルビーム(光源出射ポート前後照射 窓から照射)の他、ハイアウトプットシングルビーム(光源照射ポート裏側にRetro-Reflectorを接続)照射にも対応可能です。

LDLSの発光点揺らぎ LDLSの発光点揺らぎ

輝度分布

EQ-99X 拡散照射仕様

型名 EQ-99X-S-NA EQ-99X-Plus-N
コントローラータイプ Normalコントローラー Managerコントローラー
波長範囲 170nm〜2100nm
出力強度 0.5W(代表値)
出力方法 拡散照射(出射窓サイズ約φ22mm)
拡散角度 NA0.47、約62度
発光点サイズ 微小φ0.1mm
発光点位置安定性 ±0.4μm以内
ランプ寿命 9,000時間以上(代表値)
長時間強度安定性 1,000時間以上(代表値)で元強度90%維持
冷却方法 空冷(光源ヘッド)
窒素パージ Grade6窒素パージ可能 (DUV照射効率アップ)
準拠基準 CEマーク、USA Patent No.7,435,982
装置構成 EQ-99光源ヘッド、LD電源、専用コントローラ(Normal or Manager)、
AC電源、電源ケーブル、専用ブラケット
寸法、重量 EQ-99光源ヘッド: 82.3×85.7×76.2mm、0.7kg
LD電源: 139.8×107.8×254.0mm、2.2kg
消費電力 100~240V、50/60Hz、2.5A
オプション シャッターユニット、軸外放物面鏡ユニット

EQ-99XFC ファイバー照射仕様

型名 EQ-99XFC-S-NA EQ-99XFC-Plus-NA
コントローラータイプ Normalコントローラー Managerコントローラー
波長範囲 接続する光ファイバーの種類による
SR仕様光ファイバー:190nm〜900nm
BB仕様光ファイバー:VIS~2100nm
出力強度 コア径600μmファイバー後  200mW(代表値)
コア径450μmファイバー後  150mW(代表値)
コア径230μmファイバー後  70mW(代表値)
コア径115μmファイバー後  25mW(代表値)
出力方法 FC/PCコネクターまたはSMA/PC
開口数(NA) 0.22
発光点サイズ 微小φ0.1mm
発光点位置安定性 ±0.4μm以内
ランプ寿命  9,000時間以上(代表値)
長時間強度安定性 1,000時間以上(代表値)で元強度90%維持
冷却方法 空冷(光源ヘッド)
窒素パージ Grade6窒素パージ可能(DUV照射効率UP)
装置構成 EQ-99FC光源ヘッド、LD電源、専用コントローラ(Normal or Manager)、
AC電源、電源ケーブル
寸法、重量 EQ-99光源ヘッド: 82.3×85.7×76.2mm、0.7kg
LD電源: 139.8×107.8×254.0mm、2.2kg
消費電力 100~240V、50/60Hz、2.5A
オプション 照射用光ファイバー、ファイバーコリメーター

新製品  EQ-77 ハイパワー拡散照射仕様

型名 EQ-77-NA
波長範囲 170nm~ 2100nm
出力強度 2 W ( 代表値)
照射方法
(発注時指定)
拡散照射
デュアルビーム(両窓)
シングルビーム(片窓)
拡散角度 NA 0.50
発光点サイズ 微小Φ0.1mm
発光点位置安定性 ±0.4μm 以内
ランプ寿命 9,000時間以上(代表値)
長時間強度安定性 1,000 時間以上(代表値) で元強度90%維持
冷却方法 水冷必須(1.0 liter/min. 500 W, ¼ -inch. sweglock)
窒素パージ 窒素パージ必須(Grade6)
装置構成 EQ-77光源ヘッド、専用電源、電源ケーブル、チラー(別途必要)
寸法、重量 EQ-77光源ヘッド:128×175×102mm、2.2kg
専用電源:152×250×132mm、2.9kg
消費電力 100V~200V、50/60Hz、Max 350W

新製品  EQ-400 超高輝度拡散照射仕様

型名 EQ-400
波長範囲 170nm~2100nm
出力強度 ~15W(代表値)
照射方法
(発注時指定)
拡散照射
デュアルビーム(両窓)
シングルビーム(片窓)
拡散角度 NA 0.50
発光点サイズ 微小Φ0.1mm
発光点位置安定性 ±0.4μm 以内
ランプ寿命 9,000時間以上(代表値)
長時間強度安定性 1,000 時間以上(代表値) で元強度90%維持
冷却方法 水冷必要(1.0liter/min. 500W, ¼ -inch. sweglock)
窒素パージ 窒素パージ必要(Grade6)
装置構成 EQ-400光源ヘッド、専用電源、電源ケーブル、専用チラー
寸法、重量 EQ-400光源ヘッド:135.6×144.9×56mm、2.7kg
専用電源:132.6×482.6×583.6mm、18.8kg
消費電力 200V~240V、50/60Hz、Max 1700W
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よくいただくご質問

  • 従来型のキセノンランプと何が違うのですか?メリットは何ですか?

    放電電極で発生させたアーク放電部に、レーザー光を集光して点灯維持を行う、独自点灯方式を採用したランプ光源です。従来型のキセノンランプよりも超微小サイズ0.1mmで発光する為、高輝度集光照射に威力を発揮します。レーザー集光で発光点の揺らぎも少なく、電極摩耗がない為、長寿命です。
  • ファイバー接続は可能ですか?

    EQ-99FC(ファイバー接続仕様)の他、EQ-99(拡散仕様)に専用の軸外放物面鏡ユニットを取り付けて、ファイバー入射することも可能です。
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