長年の経験と実績に裏打ちされたピコ秒LD励起固体レーザー技術
ピコ秒LD励起高出力固体レーザー

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ピコ秒LD励起高出力固体レーザー ピコ秒LD励起高出力固体レーザー

製品概要

高い信頼性とコンパクトかつ堅牢な設計を維持した状態で出力を向上すると同時に、繰返し周波数を1MHzまで向上することで高い加工スループットかつ高精度な微細加工が可能。6Wタイプは、レーザーヘッドのさらなる小型化と5 MHzまでの高繰り返し発振を実現した完全空冷タイプとなっております

デモ機情報

Atlatnic 6-355タイプによるサンプル加工及びデモ機貸出しを行っております。 ぜひこの機会に、ご希望のサンプル加工等が行えるかご確認ください。

デモ機仕様

発振波長 1064nm/532nm/355nm
パルスエネルギー >25μJ@100kHz、1064nm
>12μJ@100kHz、532nm
>8μJ@100kHz、355nm
平均出力 >6W@5000kHz、1064nm
>1.2W@100kHz、532nm
>0.8W@100kHz、355nm
繰返し周波数 シングルショット~5MHz
パルス幅 <10ps

加工事例:切断/構造成型

ニチノールのステントカット

ニチノールのステントカット

PMMAの構造成型

PMMAの構造成型

インバー薄膜のスロットカット

インバー薄膜のスロットカット

LCDガラスフィルターのカット

LCDガラスフィルターのカット

加工事例:SCM420の貫通穴あけ

SCM420の貫通穴あけ サンプル表面

サンプル表面

SCM420の貫通穴あけ サンプル裏面

サンプル裏面

SCM420の貫通穴あけ サンプル断面

サンプル断面

加工事例:薄膜太陽電池のパターニング加工(CIGS)

薄膜太陽電池のパターニング加工(CIGS)
薄膜太陽電池のパターニング加工(CIGS)

P3(355nm、50kHz、300mm/s), 赤部を拡大

加工事例:薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)

薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)
薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)

P1(1064nm、100kHz、800mm/s)

薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)

P2(532nm、100kHz、900mm/s)

薄膜太陽電池のパターニング加工(アモルファスシリコン)

P3(532nm、100kHz、900mm/s), 赤部を拡大

下記の出力タイプをクリックすると瞬時にその場所へ移動します。

1064nm発振タイプ

型名 IR6HE IR5 IR25 IR50 IR80
発振波長 1064nm
パルスエネルギー 200µJ >30µJ >125µJ >165µJ >200µJ
平均出力 6.0W@ >5.0W >25W@ >50W >80W@
出力制御 0.1%~100%
繰返し周波数*1 30kHz シングルショット~1MHz
パルス幅 10±3ps
ビーム品質 TEM00 M2<1.3
エネルギー安定性(Std. dev.) 0.5% <1.0%
偏光 垂直>100:1
ビーム径(ビーム拡がり角) 1.4±0.2mm(<2.0mrad) 1.8±0.3mm(<1.5mrad)
ビーム位置安定性 <50μRad
ケーブル長 4m
電源 動作電圧:100~240V、5A 単相:47~63Hz
最大消費電力 <0.5kW <2.8kW <3.1kW <3.5kW
ユーティリティ 温度:18~27℃(<±2℃ 湿度:10~80%(結露なきこと)
レーザークラス クラス4(EN60825-1基準)

*1 内部制御モード
①IR5 :100kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:100 Hzまで可変)
②IR25 :200kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:200 Hzまで可変)
③IR50 :300kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:300 Hzまで可変)
④IR80 :400kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:400 Hzまで可変)
外部制御モード
シングルショット~1MHzまで可変、バーストパルス制御可能(シーダーバスト機能可能:約40ns間隔のパルス群(最大10パルス)
*①自動出力可変機構標準搭載
②自動波長切替機構標準搭載
③アナログAOM変調標準搭載

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(IR5)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(IR5)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(IR25)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(IR25)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(IR50)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(IR50)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(IR80)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(IR80)

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532nm発振タイプ

型名 GR3HE GR2 GR12 GR25 GR40
発振波長 1064nm/532nm
パルスエネルギー 100µJ >20µJ >60µJ >85µJ >100µJ
平均出力 3.0W@ >2.0W >12W@ >25W >40W@
出力制御 0.1%~100%
繰返し周波数*1 30kHz シングルショット~1MHz
パルス幅 10±3ps
ビーム品質 TEM00 M2<1.3
エネルギー安定性(Std. dev.) 0.5% <1.0%
偏光 垂直>100:1
ビーム径(ビーム拡がり角) 1.5±0.3mm
(<1.0mrad)
1.2±0.2mm
(<1.5mrad)
1.3±0.3mm
(<1.0mrad)
1.4±0.3mm
(<1.0mrad)
1.5±0.3mm
(<1.0mrad)
ビーム位置安定性 <50μRad
ケーブル長 4m
電源 動作電圧:100~240V、5A 単相:47~63Hz
最大消費電力 <0.5kW <2.8kW <3.1kW <3.5kW
ユーティリティ 温度:18~27℃(<±2℃ 湿度:10~80%(結露なきこと)
レーザークラス クラス4(EN60825-1基準)

*1 内部制御モード
①GR2 :100kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:100 Hzまで可変)
②GR12 :200kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:200 Hzまで可変)
③GR25 :300kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:300 Hzまで可変)
④GR40 :400kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:400 Hzまで可変)
外部制御モード
シングルショット~1MHzまで可変、バーストパルス制御可能(シーダーバスト機能可能:約40ns間隔のパルス群(最大10パルス)
 *①自動出力可変機構標準搭載
②自動波長切替機構標準搭載
③アナログAOM変調標準搭載

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(GR2)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(GR2)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(GR12)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(GR12)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(GR25)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(GR25)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(GR40)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(GR40)

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355nm発振タイプ

>8000時間のサービスフリー設計

型名 UV2HE UV1 UV8 UV18 UV30
発振波長 355nm
パルスエネルギー 75µJ >10µJ >40µJ >60µJ >75µJ
平均出力 2.0W@ >1.0W >8.0W@ >18W >30W@
出力制御 0.1%~100%
繰返し周波数*1 30kHz シングルショット~1MHz
パルス幅 10±3ps
ビーム品質 TEM00 M2<1.3
エネルギー安定性(Std. dev.) 0.5% <1.0%
偏光 垂直>1000:1
ビーム径(ビーム拡がり角) 1.5±0.3mm
(<1.0mrad)
1.1±0.2mm
(<1.5mrad)
1.8±0.3mm
(<1.0mrad)
1.9±0.3mm
(<1.0mrad)
2.0±0.3mm
(<1.0mrad)
ビーム位置安定性 <50μRad
ケーブル長 4m
電源 動作電圧:100~240V、5A 単相:47~63Hz
最大消費電力 <0.5kW <2.8kW <3.1kW <3.5kW
ユーティリティ 温度:18~27℃(<±2℃ 湿度:10~80%(結露なきこと)
レーザークラス クラス4(EN60825-1基準)

*1 内部制御モード
①UV1 :100kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:100 Hzまで可変)
②UV8 :200kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:200 Hzまで可変)
③UV18 :300kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:300 Hzまで可変)
④UV30 :400kHz~1MHzまで可変(内部ディバイダー使用時:400 Hzまで可変)
外部制御モード
シングルショット~1MHzまで可変、バーストパルス制御可能(シーダーバスト機能可能:約40ns間隔のパルス群(最大10パルス)
 *①自動出力可変機構標準搭載
②自動波長切替機構標準搭載
③アナログAOM変調標準搭載

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(UV1)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(UV1)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(UV8)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(UV8)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(UV18)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(UV18)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(UV30)

繰返し周波数に対するパルスエネルギー/平均出力(UV30)

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